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LG电子在Nature发布Micro LED新转移方法

5月3日,韩国 LG电子(LG Electronics)Wonjae Chang, Jungsub Kim,Jeong Soo Lee等,在Nature上发文,提出了一种基于流体自组装(FSA)技术的新转移方法,称为磁力辅助介电泳自组装技术(MDSAT),它结合了磁力和介电泳(DEP)力,在15分钟内,实现了同时的红色,绿色和蓝色(RGB) LED转移,转移良率为 99.99%。

与有机发光二极管 (OLED) 显示器相比,Micro LED 显示器具有多种优势,包括长寿命和高亮度,因此作为下一代显示器一直备受关注。Micro LED 技术正在商业化用于大屏幕显示器,例如数字标牌,并且正在针对其他应用开展积极的研发计划,例如增强现实、柔性显示器和生物成像。

然而,转移技术存在重大障碍,如果需要第 10 代以上(2,940 × 3,370 mm 2) 玻璃尺寸获得高吞吐量、高良率的商业化,那么 MicroLED 才能进入主流产品市场并与液晶显示器和 OLED 显示器竞争。

该报告中的磁力辅助介电泳自组装技术(MDSAT)即是通过在Micro LED 中嵌入铁磁材料镍,控制整个运动,并通过施加以受体孔为中心的局部 DEP 力,这些 Micro LED 被有效地捕获并组装在受体位点。此外,通过 Micro LED 和受体之间的形状匹配,展示了 RGB LED 的并行组装。

最后,还制造了发光面板,显示出了无损伤转移特性和均匀RGB电致发光发射。研究证明了,磁力辅助介电电泳自组装技术MDSAT方法,有望成为有力的转移技术,用以实现Micro LED主流商业产品大批量生产。

■ 报告部分内容

图1: 磁力辅助介电电泳自组装技术magnetic-force-assisted dielectrophoretic self-assembly technology,MDSAT流体装配过程示意图,以及根据COMSOL模拟计算的电泳Dielectrophoresis,DEP和磁力分布。

图2:电泳DEP力,与微发光二极管显示材料Micro Light Emitting Diode,MicroLED组装行为和转移屈服力的关系。

图3:形状失配缺陷的显微镜图像和示意图,以及作为受体孔高度函数的电泳DEP力和转移屈服的变化。

图4:无源矩阵微发光二极管MicroLED面板的图像,I–V特性和RGB光谱。

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